1、产品简介

  中和剂H102为一种酸性强还原剂，可以中和板件上的碱性残液，高效还原残余的七价锰、六价锰、二氧化锰等可溶性二价锰离子，避免氧化剂带入后续流程，保障制程有效正常运行。
  除胶后残留的锰离子是重金属离子，它的存在会引起”钯中毒”，使钯离子失去活性，从而导致后续沉铜(孔金属化)的失败，因此，化学沉铜前必须除去锰的存在。在中和槽的强酸性介质中，反应方程式如下：
  3MnO₄^2-+4H⁺=2MnO₄^-+MnO₂(s)+2H₂O
  2MnO₄^-+5C₂O₄^2-+16H⁺=2Mn₂⁺+10CO₂(g)+8H₂O
  C₂O₄^2-+MnO₂+4H+=Mn²⁺+2CO₂+2H₂O

2、工艺流程

3、操作条件

4、设备要求

5、配槽方法

  (1) 清洗干净槽体后，注入2/3槽体积纯水；
  (2) 先加入(槽体积×110÷1000)L的中和剂H102，再缓慢小心加入(槽体积×20÷350)L的双氧水(35%)；
  (3) 补充纯水至标准液位，开启加热系统、内循环及过滤系统；
  (4) 循环30min后取样分析并调整至规定范围内即可。
  *槽体积单位为升(L)

6、生产管理

  生产补加：每生产100m²添加1.5L中和剂H102及1L双氧水；
  分析频率：每班分析一次中和剂H102及双氧水含量并补充至规定范围；
  保养周期：连续生产1周或累积生产面积达8000m²时保养(以生产面积为准)；
  换槽频率：连续生产1周或累积生产面积达8000m²时换槽(以生产面积为准)；
  滤芯更换：每周更换一次新滤芯/滤袋。

7、槽液维护

7.1 保养方法

  7.1.1 关闭温控及循环过滤系统，把旧槽液排放干净；
  7.1.2 往槽内注入标准液位的水，开启循环过滤系统，水洗30min后排放；
  7.1.3 加入2/3槽体积水，加入1~3%(v/v)的液碱；
  7.1.4 补充液位至标准后，开启循环过滤系统，持续碱洗1小时后排放；
  7.1.5 排放完碱洗后，按7.1.2之步骤清洗槽体1次；
  7.1.6 加入2/3槽体积水，缓慢小心加入1~3%(v/v) 的硫酸(H₂SO₄)；
  7.1.7 补充液位至标准后，开启循环过滤系统，持续酸洗1小时后排放；
  7.1.8 排放完酸洗后，按7.1.2之步骤清洗槽体2次；
  7.1.9 冲洗上槽盖子、清理槽内杂物、更换新滤袋、更换水刀滤网检查喷嘴是否堵塞，检查并修复滚轮的运转情况，再按7.1.2之步骤清洗槽体1次即可。

7.2 停产处置

• 停止生产4小时以上：关闭加热、循环过滤系统；
• 停止生产超过1个月：更换新的槽液。

8、药水分析

8.1 中和剂H102

• 准备项目
  (1) 玻璃移液管(10ml)、玻璃锥形瓶(250ml)；
  (2) 甲基橙指示剂(M.O)、氢氧化钠标准溶液(NaOH=1.000mol/L)。
• 分析方法
  (1) 取10ml槽液置于250ml锥形瓶中，加40ml纯水；
  (2) 加3~5滴甲基橙指示剂(M.O)，混合均匀；
  (3) 用1.0mol/L的氢氧化钠标准溶液滴定至浅黄色为终点，记录滴定毫升数为N。
• 计算公式
  中和剂H102(ml/L)=N×9.3
• 管控范围
  中和剂H102：90~130ml/L
• 添加方式
  中和剂H102(L)=(110－分析值)×槽体积(L)÷1000

8.2 双氧水(H₂O₂)

• 准备项目
  (1) 玻璃移液管(1ml)、玻璃锥形瓶(250ml)；
  (2) 硫酸溶液(H₂SO₄=20%)、高锰酸钾标准溶液(KMnO₄=0.02mol/L=0.1N)。
• 分析方法
  (1) 取1ml槽液置于250ml锥形中，加40ml纯水；
  (2) 加入20%的硫酸溶液10ml，混合均匀；
  (3) 用0.02mol/L的高锰酸钾标准溶液滴定至粉红色为终点，记录滴定毫升数为N。
• 计算公式
  双氧水(ml/L)=N×2.86
• 管控范围
  双氧水：15~25ml/L
• 添加方式
  双氧水(L)=(20－分析值)×槽体积(L)÷350  *双氧水含量为35%

9、故障异常

10、安全措施

  (1) 本产具强酸性，添加药水时请使用安全眼镜、保护手套、活性碳口罩及安全衣；
  (2) 中和剂H102对皮肤有腐蚀性，如药水不慎溅到身体，立即用清水冲洗5~10分钟，如感不适请即刻就医。