1 产品简介

  活化剂H908为碱性离子钯体系，由于Pd2+呈正电荷性且粒子小空隙低，可以快速地吸附在孔壁形成一层致密性极佳的钯层，为后续化学沉铜提供可靠的镀层。

2 工艺流程

3 操作条件

4 设备要求

5 配槽方法

  (1) 清洗干净槽体后，注入1/2槽体积纯水，开启内循环；
  (2) 加入(槽体积×180÷1000)L的活化剂H908，补充纯水至标准液位，开启过滤系统，循环30min；
  (3) 取样分析Pd²⁺含量并校正、测量槽液Ph值，用液碱调整Ph值至8.5~10.5之间；
  (4) 开启加热系统，升温至正常范围内即可。
  槽体积单位为升(L)

6 生产管理

  生产补加：每生产100m²添加1.3L活化剂H908；
  分析频率：每班分析1次Pd²⁺含量及槽液Ph值，并补充校正；
  换槽周期：每8周或连续生产面积达30000m²时(以生产面积为准)更换新槽液；
  保养周期：每月或连续生产面积达8000m²时(以生产面积为准)进行倒槽保养；
  滤袋更换：每周更换一次新滤芯/滤袋。

7 槽液维护

7.1 保养方法

  7.1.1 关闭温控及循环过滤系统，把旧槽液尽量完全抽至暂存槽内；
  7.1.2 往槽内注入标准液位的水，开启循环过滤系统，水洗30min后排放；
  7.1.3 加入1/2槽体积水，缓慢加入1~3%(v/v)的盐酸及双氧水，补充液位至正常，持续循环过滤4~5小时进行削槽，削槽完成后排放干净酸水；
  7.1.4 按7.1.2之步骤清洗槽体2次；
  7.1.5 加入1/2槽体积水，加入1~3g/L氢氧化钠(以液碱形式添加)，补充液位至正常，持续循环过滤1~2小时进行碱洗，碱洗完成后排放干净碱水；
  7.1.6 按7.1.2之步骤清洗槽休2次；
  7.1.7 冲洗上槽盖子、更换水刀滤网及检查喷嘴堵塞情况并修复、清理槽内杂物、更换新滤袋、检查滚轮运转情况并修复；
  7.1.8 按7.1.2之步骤清洗槽休2次，取最后1次水洗测量Ph值，测量Ph在6~8即可；
  7.1.9 把暂存槽的槽液完全抽至主槽内，补充纯水至标准液位，循环过滤30min后，取样分析Pd²⁺含量及Ph值并补充校正至正常范围之内，开启加热升温至工作范围即可。

7.2 停产处置

• 停止生产12小时以上：关闭加热系统、过滤系统，持续内循环；
• 停止生产24小时以上：关闭加热系统、过滤系统、内循环系统。

8 药水分析

8.1 钯离子(Pd²⁺)

• 准备项目
  (1) 移液枪(5ml)、玻璃容量瓶(100ml)；
  (2) 盐酸溶液(HCl:纯水=1:1)；
  (3) 原子吸收分光光度计(AA机)。
• 分析方法
  (1) 精确量取5ml槽液置于100ml玻璃容量瓶中；
  (2) 加入2ml的1:1盐酸溶液(HCl:纯水=1:1)，用纯水稀释至刻度并摇晃混合均匀；
  (3) 用AA机(钯灯波长244.79，标样测量曲线r≥0.995)测量，读数记录为C。
• 计算公式
  钯离子(ppm)=C×20
• 管控范围
  钯离子：110~250ppm
• 添加方式
  活化剂H908(L)=(180－分析值)×槽体积(L)÷1000

8.2 pH值

• 标准项目
  (1) 玻璃量杯(250ml)；
  (2) 碱性Ph计。
• 测量方法
  (1) 取150ml左右槽液置于玻璃量杯中，静默冷却至室温(22~26℃)；
  (2) 把Ph计测量探头伸入待测量槽液并轻微晃动，记录Ph计计数；
• 管控范围
  Ph：8.5~10.5
• 调整方法
   在槽外用液碱以烧杯调整的方式来进行调整，调整后需做复测。

9 故障异常

10 安全措施

  (1) 添加药水时请使用安全眼镜、保护手套、活性碳口罩及安全衣；
  (2) 保养添加盐酸、双氧水时请确保槽液位不低于1/3并保持通风，尽量缓慢小心添加；
  (3) 如药水不慎溅到身体，立即用清水冲洗5~10分钟，如感不适请即刻就医。